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ASML系列 氣浮轉(zhuǎn)臺是高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直接驅(qū)動，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。除了市場前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外，ASML氣浮轉(zhuǎn)...

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RAB系列 氣浮轉(zhuǎn)臺是高精度高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直接驅(qū)動，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。除了市場前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外，RAB系列...

ALP系列 氣浮轉(zhuǎn)臺是高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直接驅(qū)動，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。除了可靠的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外，ALP轉(zhuǎn)臺還提供優(yōu)秀...